直线电机三轴平台

Ø 应用特点：

Ø 采用“直线电机+导轨”的方式，结合光栅尺反馈，作全闭环控制的双轴亚微米级平台；

Ø 模块化的结构设计，整体线路集成化；

Ø 更好的速度稳定性；

Ø 更高的精度；