模块化多自由度直驱调整平台

应用特点：

u 采用“直线电机+交叉导轨”的方式，结合光栅尺反馈，作全闭环控制的多轴亚微米级平台；

u 模块化的结构设计，且整体模块可以任意拆解；

u 更好的速度稳定性；

u 替代Stewart平台，性价比更高；

  提供全套控制系统，控制算法更精准。