直线电机两轴平台系列

技术参数

Ø 产品特性：

u 高动态响应、非接触直线电机驱动

u 高精度的线性光学编码器反馈

u 高刚度、高精度导轨设计

u 优异的定位精度和重复性表现

Ø 应用特点：

交叉十字XY台采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。