线轨运动台是由直线电机驱动,光栅尺反馈和直线导轨导向组成的,其中滚轮直线导轨,圆柱直线导轨,滚珠直线导轨都属于直线导轨,又称线轨、滑轨、线性导轨及线性滑轨,每个人的叫法不同。线轨主要是用来支撑运动部件的,在使用的过程中起到导向的作用,也可以按照所指定的方向来不断的做直线运动。 线轨运动台采用无...
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伴随着半导体行业的快速发展,相应的加工检测设备也会逐渐地提高性能,因此很多公司都使用气浮台,这是一种用于半导体加工、检测、微纳加工、测试测量等高精度设备,今天来了解一下超精密气浮运动台的特性。 1、直线度和平面度高 2、定位精度和重复定位高 3、速度稳定性高 4、偏摆、俯仰、滚动精度高 ...
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