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高精密垂直轴平台

产品描述:产品类型VMP-A-7VMP-A-8Travel 行程7mm8mmAccuracy 定位精度2μm2μmBi-Repeatability 双向重复定位精度0.2μm0.2μmStraightness 直线度0.8μm0.8μmLoad capacity负载0.5kg15kgJitter at stay position位置抖动50nm50nmMaximum speed最大速度0.2m/s0.2m/...
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Ø 产品特性:

Ø 显微镜物镜的高动态定位器

Ø 可调行程范围限制为共1-8mm

Ø 高动态直驱

Ø 综合重量力补偿为1kg,可由用户自行调节

Ø 合适的可选配件,例如物镜支架

Ø 非接触直接驱动系统,可平衡超精密、高动态运动;

Ø 坚固的 FEM 优化航空铝制机身可防止热弯曲效应;

Ø 超精密抗蠕动交叉滚珠导轨提供精确的垂直运动;

Ø 借助平衡负载、抵消重力的影响,使其具备线性电机的所有优势;

Ø 切断电源,磁/气平衡选项可防止负载向下漂移.

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