尺寸图：
产品类型 | LMP-S-250 |
Travel 行程 | 250mm |
Accuracy 定位精度 | ±2.5μm |
Bi-Repeatability 双向重复定位精度 | ±0.2μm |
Straightness 直线度 | ±1.5μm |
Flatness 平面度 | ±3μm |
Load capacity负载 | 1000N |
Jitter at stay position位置抖动 | 50nm |
Maximum speed最大速度 | 1m/s |
Maximum Acceleration最大加速度 | 2g |
Platform material 平台材质 | 大理石 |
u 产品特性：
Ø 坚固的机械结构；
Ø 非接触直接驱动系统，可实现高动态响应和高可靠性
Ø 用于超精密运动的直接驱动直线电机，无铁芯电机提供高推力，零齿槽效应，可实现超平滑的速度和位置控制；
Ø 行程从100mm到2000mm 不等，可根据实际需求定制；
Ø 增量式和绝对式编码器作为标准选项提供，可实现低至5nm 的最小增量运动和亚微米级的可重复性；
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