气浮运动平台

Ø 产品特性：

Ø X+双Y轴亚微米级平台，可任意添加多轴联动；

Ø XY行程从250*250mm，具体规格可选；

Ø 重复定位精度≤±0.1μm，直线度≤0.5μm；

Ø 最大负载25KG;

Ø 应用特点：

u 克服了传统堆叠式运动平台由于XY两方向误差累积而导致的控制精度不高的特点，还消除了两线性轴相互叠加而造成的刚度串联问题，提高了气浮平台的运动刚度；

u 采用“直线电机+气浮导轨”的方式，结合光栅尺反馈，作全闭环控制的多轴亚微米级平台；

u 采用真空预压技术，保证其系统的刚度及稳定性；

u 更好的速度稳定性；

u 实时动态跟随性好（匀速条件下），动态跟随误差±50nm。