气浮平台的工作原理及使用注意事项

 气浮平台有气浮直线平台与气浮（旋转）转台两类。气浮平台的核心原理是由空气轴承结合电控元件构成的精密位移平台，基于空气轴承的原理，让负载板浮在气浮导轨或气浮轴承上，实现无摩擦、无振动的平滑运动。

  气浮平台的气浮直线导轨常见的形式有：

  1、重力平衡式气浮导轨；

  2、闭式气浮导轨；

  3、永磁预载式气浮导轨；

  4、真空吸附式气浮导轨。

  常见的气浮孔结构为：

  1、小孔节流结构；

  2、多孔质结构。

  气浮平台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了气膜刚度时的参数区间有着好的性能精度，行程300mm直线度和平面度的误差在1μm以内，气浮平台的承载能力也非常的好，在市场上已经逐渐得到大家的认可。

  气浮运动台作为精密设备，分为直线运动和旋转运动，在使用时注意事项：

  1、机械结构部分：

  1）直线轴或旋转轴需要安装到一个平面度5μm的平台基座上。

  2）气浮台的供气气源要是洁净的，无水无油固体颗粒小于0.2μm，压力露点-20℃，三级过滤器定期排水（因地域湿度不同，根据实际情况检查，周/月/季检查），三级过滤器要竖直安装，定期检查是否有油水的情况，如有，打开过滤器底部开关排出。

  3）直线轴和转台负载台面在3μm以内，先用无水乙醇擦拭干净在安装工件。

  4）安装的工件平面度3μm以内。

  5）安装螺钉时，4角固定时要对角线上螺钉，环形固定时要也对角安装，先轻微上力，再逐步加力，参考螺钉紧固力矩标准。

  6）转台先通气再通电，气压在0.5~0.6Mpa，关机时先断电再断气。

  7）直线轴与转轴安装，先用无水乙醇擦干净，在安装螺钉，转接板平面度要在3μm以内，安装方法参考1.5。

  2、电控部分：

  1）转台开机的时候先通气再通电，关机时先断电再断气。

  2）气浮转台上电前，先判断一下气压是否合适，用手轻轻推动气浮轴，轴能很平滑的运动并且阻力很小，那么气浮轴可以上电并上使能使用了；如果推不动或者阻力很大，请勿要使用大的力气强行去推，此时应该去寻找原因或与厂家联系，不可以上电使用。

  3）参考使用说明书，内含注意事项。