超精密气浮运动台的特性

 伴随着半导体行业的快速发展，相应的加工检测设备也会逐渐地提高性能，因此很多公司都使用气浮台，这是一种用于半导体加工、检测、微纳加工、测试测量等高精度设备，今天来了解一下超精密气浮运动台的特性。

  1、直线度和平面度高

  2、定位精度和重复定位高

  3、速度稳定性高

  4、偏摆、俯仰、滚动精度高

  气浮运动台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了好的气膜刚度时的参数区间有着好的性能精度，实现Z大速度2米/秒，能够拥有4G的加速度，而且承载的能力也非常的好。

  气浮运动台基于空气轴承的基本原理，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。在测量设备、精密机械中得到了广泛的应用。采用直线电机驱动，选用不带铁芯的设计，具有无齿槽效应，高动态性能及电流噪声小等特点，使在运动过程中能达到超平稳的效果，另外配置光栅尺闭环反馈及先进性控制系统，实现高精度和重复定位精度。